真空机组的三个抽气阶段

　　众所周知真空机组需要进行一定的抽气活动才能在真空泵中形成气压差方便后续的运输作业活动，而抽气可以分为三个阶段帮助真空机组可以更节省抽气时间以便达到更好的效果。
　　首先这三个步骤分别是即精抽阶段、辉光轰击阶段以及溅射沉积阶段，小编为大家一一介绍它们各自的特点与形式：

　　精抽阶段进行抽气的主要目的是可以减少真空机组室内的排放量，并使主泵在精抽情况下可以达很好的抽气压差。方便后续的辉光轰击阶段，而这一个阶段主要是利用增压泵和涡轮分子达到上一个阶段的效果，并采取节流牺牲抽速的方法是真空机组中的泵稳定工作。溅射沉积阶段在只有0.5帕的压力下仍需要节流帮助堆积能够稳定。

　　以上的三个阶段虽然看似复杂但只要整个真空机组的结构质量过关就可以完好的进行这三个阶段，减少机器的磨损和破坏。